化工过程智能分析
近红外光谱仪通过实时采集物料光谱数据，结合化工专用算法模型，快速解析反应进程、混合物成分及关键指标（如水分、溶剂残留、混合均匀度等）。实验室设备为工艺开发提供高精度基准，在线设备嵌入产线实时反馈数据至控制系统，动态调节温度、流量、阀门等参数，形成“检测-分析-控制”闭环管理，实现生产全程标准化与资源最优化。
我们的应用
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粮油加工全链品质管理近红外光谱技术以“无损、快速、实时”的检测能力，贯穿粮油加工全产业链，从原粮收储到精炼加工，实现关键指标（水分、蛋白质、油脂等）的秒级分析，赋能企业精准分级、智能决策与工艺优化，助力降本增效与品质升级，为粮油行业高质量发展提供核心科技支撑。 -
农业智检与精准管理基于分子光谱学原理的近红外光谱技术，为智慧农业构建了高效、绿色的数字化解决方案。该技术通过捕捉物质分子在近红外波段的振动吸收特征，将复杂的光谱信息与农业对象的内在成分建立高相关性映射关系，实现从土壤到作物再到农产品的全链条非接触式质量监测。相较于传统化学分析方法，其显著优势在于零试剂消耗、多组分协同检测的可持续工作模式，彻底摆脱对实验室场景的依赖，使农业现场即时性检测成为可能。 -
饲料行业解决方案迅杰光远深入了解饲料产业链相关工艺，凭借在饲料行业分析检测技术的丰富经验，为饲料相关行业的原料生产、成品深加工等领域的客户提供专业定制化近红外光谱分析解决方案。这些解决方案不仅助力客户深入洞悉各类饲料原料、饲料成品等的独特性质，还实现了生产全链条的质量监控，从原料筛选到加工过程，再到成品质量验证，每一步都精益求精。通过迅杰光远的近红外光谱分析技术，客户能够优化生产工艺，提升产品竞争力，同时确保生产过程的高效与稳定。 -
烟草智能分级与工艺优化近红外光谱技术以“无损、秒级、全流程”的检测优势，贯穿烟草种植、加工到成品的全生命周期，精准监测水分、烟碱、糖分等核心指标，实现从原料分级、质量监测、工艺优化到成品质控的智能化管理，助力烟草企业提升品质一致性、降低损耗成本、强化市场竞争力。 -
半导体行业解决方案针对化学湿法工艺的药液浓度管理需求，我们开发出高精度化学药液浓度计。该设备采用近红外光谱吸收、电化学等技术原理能够秒级完成对HF、H2SO4、TMAH等多种常用蚀刻液/清洗液的浓度测定，精度达±0.01%。设备可在高温强酸环境下连续运行（耐受PFA材料）。内置补偿算法，消除温度和气泡干扰带来的测量误差，能够实现与工厂中控系统的实时数据传输，产品已通过SEMIS2、CE等认证。
我们的产品
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IAS-PAT L1M在线式近红外光谱分析仪IAS-PAT L1M在线式近红外光谱分析仪针对在线流程控制设计，可以轻松实现离线建模，助您快速验证模型，实时跟踪在线过程参数变化，通过可视化数据确保生产效率和回报率。 IAS-PAT L1M散热、模块化等升级设计，多重压力测试，防爆系数高，可按需安装IIB/IIC型防爆箱，极大程度降低人工取样及化验的频率、减少操作人员与危化品接触次数，让生产过程安全稳定。设备还有多种仪器附件光学探头可选，基于模块化设计适配工艺线的不同位置和场景中，针对客户特殊工艺过程，可快速响应定制。 -
IAS-5100便携式近红外光谱分析仪IAS-5100 便携式近红外光谱仪拥有独创的漫反射侧照混样装置， 将颗粒样品分析精度提高3倍， 为公平收购和可盈利的决策提供交易双方都认可的结果 。操作人员无需经历专业培训，也能进行专业检测。 -
IAS-3120便携式近红外光谱分析仪IAS-3120便携式近红外光谱仪采用先进的数字曝光光谱技术，在紧凑的一体化设计中体现出色的灵敏性与精准性，能够为您提供一如既往的高质量快检结果。 -
IAS-Online S100在线式近红外光谱分析仪IAS-Online S100用于连续实时分析，仪器安装在生产线上实时分析生产状况，根据分析数据即刻反馈进行工艺管控。全样品在线分析可对重要参数进行反馈优化，减少返工，使产品一致性更好。仪器内部的光谱仪采用全密封恒温设计，在苛刻环境下工作可持续保证性能稳定，仪器同时设计了全自动监控和校准机制，无需人为干预即可定期自检自动校准，长久运行依然保持高性能。 -
IAS-PAT B1在线式漫反射型近红外光谱分析仪IAS-PAT B1是一款是针对工业化生产过程分析设计的，用于对样品的成分进行定性及定量分析的仪器。样品的数据被代入仪器的内置模型进行计算，得到的分析结果连续输出显示在配套的软件界面上，并接入各种工业控制系统。仪器接口面板可根据客户要求进行定制化开发，所有接口均有标准协议进行对接。
我们的应用
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化工过程智能分析近红外光谱仪通过实时采集物料光谱数据，结合化工专用算法模型，快速解析反应进程、混合物成分及关键指标（如水分、溶剂残留、混合均匀度等）。实验室设备为工艺开发提供高精度基准，在线设备嵌入产线实时反馈数据至控制系统，动态调节温度、流量、阀门等参数，形成“检测-分析-控制”闭环管理，实现生产全程标准化与资源最优化。
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粮油加工全链品质管理近红外光谱技术以“无损、快速、实时”的检测能力，贯穿粮油加工全产业链，从原粮收储到精炼加工，实现关键指标（水分、蛋白质、油脂等）的秒级分析，赋能企业精准分级、智能决策与工艺优化，助力降本增效与品质升级，为粮油行业高质量发展提供核心科技支撑。
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农业智检与精准管理基于分子光谱学原理的近红外光谱技术，为智慧农业构建了高效、绿色的数字化解决方案。该技术通过捕捉物质分子在近红外波段的振动吸收特征，将复杂的光谱信息与农业对象的内在成分建立高相关性映射关系，实现从土壤到作物再到农产品的全链条非接触式质量监测。相较于传统化学分析方法，其显著优势在于零试剂消耗、多组分协同检测的可持续工作模式，彻底摆脱对实验室场景的依赖，使农业现场即时性检测成为可能。
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饲料行业解决方案迅杰光远深入了解饲料产业链相关工艺，凭借在饲料行业分析检测技术的丰富经验，为饲料相关行业的原料生产、成品深加工等领域的客户提供专业定制化近红外光谱分析解决方案。这些解决方案不仅助力客户深入洞悉各类饲料原料、饲料成品等的独特性质，还实现了生产全链条的质量监控，从原料筛选到加工过程，再到成品质量验证，每一步都精益求精。通过迅杰光远的近红外光谱分析技术，客户能够优化生产工艺，提升产品竞争力，同时确保生产过程的高效与稳定。
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烟草智能分级与工艺优化近红外光谱技术以“无损、秒级、全流程”的检测优势，贯穿烟草种植、加工到成品的全生命周期，精准监测水分、烟碱、糖分等核心指标，实现从原料分级、质量监测、工艺优化到成品质控的智能化管理，助力烟草企业提升品质一致性、降低损耗成本、强化市场竞争力。
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半导体行业解决方案针对化学湿法工艺的药液浓度管理需求，我们开发出高精度化学药液浓度计。该设备采用近红外光谱吸收、电化学等技术原理能够秒级完成对HF、H2SO4、TMAH等多种常用蚀刻液/清洗液的浓度测定，精度达±0.01%。设备可在高温强酸环境下连续运行（耐受PFA材料）。内置补偿算法，消除温度和气泡干扰带来的测量误差，能够实现与工厂中控系统的实时数据传输，产品已通过SEMIS2、CE等认证。
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化工过程智能分析近红外光谱仪通过实时采集物料光谱数据，结合化工专用算法模型，快速解析反应进程、混合物成分及关键指标（如水分、溶剂残留、混合均匀度等）。实验室设备为工艺开发提供高精度基准，在线设备嵌入产线实时反馈数据至控制系统，动态调节温度、流量、阀门等参数，形成“检测-分析-控制”闭环管理，实现生产全程标准化与资源最优化。
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粮油加工全链品质管理近红外光谱技术以“无损、快速、实时”的检测能力，贯穿粮油加工全产业链，从原粮收储到精炼加工，实现关键指标（水分、蛋白质、油脂等）的秒级分析，赋能企业精准分级、智能决策与工艺优化，助力降本增效与品质升级，为粮油行业高质量发展提供核心科技支撑。
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农业智检与精准管理基于分子光谱学原理的近红外光谱技术，为智慧农业构建了高效、绿色的数字化解决方案。该技术通过捕捉物质分子在近红外波段的振动吸收特征，将复杂的光谱信息与农业对象的内在成分建立高相关性映射关系，实现从土壤到作物再到农产品的全链条非接触式质量监测。相较于传统化学分析方法，其显著优势在于零试剂消耗、多组分协同检测的可持续工作模式，彻底摆脱对实验室场景的依赖，使农业现场即时性检测成为可能。
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饲料行业解决方案迅杰光远深入了解饲料产业链相关工艺，凭借在饲料行业分析检测技术的丰富经验，为饲料相关行业的原料生产、成品深加工等领域的客户提供专业定制化近红外光谱分析解决方案。这些解决方案不仅助力客户深入洞悉各类饲料原料、饲料成品等的独特性质，还实现了生产全链条的质量监控，从原料筛选到加工过程，再到成品质量验证，每一步都精益求精。通过迅杰光远的近红外光谱分析技术，客户能够优化生产工艺，提升产品竞争力，同时确保生产过程的高效与稳定。
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烟草智能分级与工艺优化近红外光谱技术以“无损、秒级、全流程”的检测优势，贯穿烟草种植、加工到成品的全生命周期，精准监测水分、烟碱、糖分等核心指标，实现从原料分级、质量监测、工艺优化到成品质控的智能化管理，助力烟草企业提升品质一致性、降低损耗成本、强化市场竞争力。
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半导体行业解决方案针对化学湿法工艺的药液浓度管理需求，我们开发出高精度化学药液浓度计。该设备采用近红外光谱吸收、电化学等技术原理能够秒级完成对HF、H2SO4、TMAH等多种常用蚀刻液/清洗液的浓度测定，精度达±0.01%。设备可在高温强酸环境下连续运行（耐受PFA材料）。内置补偿算法，消除温度和气泡干扰带来的测量误差，能够实现与工厂中控系统的实时数据传输，产品已通过SEMIS2、CE等认证。
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化工过程智能分析近红外光谱仪通过实时采集物料光谱数据，结合化工专用算法模型，快速解析反应进程、混合物成分及关键指标（如水分、溶剂残留、混合均匀度等）。实验室设备为工艺开发提供高精度基准，在线设备嵌入产线实时反馈数据至控制系统，动态调节温度、流量、阀门等参数，形成“检测-分析-控制”闭环管理，实现生产全程标准化与资源最优化。
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粮油加工全链品质管理近红外光谱技术以“无损、快速、实时”的检测能力，贯穿粮油加工全产业链，从原粮收储到精炼加工，实现关键指标（水分、蛋白质、油脂等）的秒级分析，赋能企业精准分级、智能决策与工艺优化，助力降本增效与品质升级，为粮油行业高质量发展提供核心科技支撑。
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农业智检与精准管理基于分子光谱学原理的近红外光谱技术，为智慧农业构建了高效、绿色的数字化解决方案。该技术通过捕捉物质分子在近红外波段的振动吸收特征，将复杂的光谱信息与农业对象的内在成分建立高相关性映射关系，实现从土壤到作物再到农产品的全链条非接触式质量监测。相较于传统化学分析方法，其显著优势在于零试剂消耗、多组分协同检测的可持续工作模式，彻底摆脱对实验室场景的依赖，使农业现场即时性检测成为可能。
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饲料行业解决方案迅杰光远深入了解饲料产业链相关工艺，凭借在饲料行业分析检测技术的丰富经验，为饲料相关行业的原料生产、成品深加工等领域的客户提供专业定制化近红外光谱分析解决方案。这些解决方案不仅助力客户深入洞悉各类饲料原料、饲料成品等的独特性质，还实现了生产全链条的质量监控，从原料筛选到加工过程，再到成品质量验证，每一步都精益求精。通过迅杰光远的近红外光谱分析技术，客户能够优化生产工艺，提升产品竞争力，同时确保生产过程的高效与稳定。
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烟草智能分级与工艺优化近红外光谱技术以“无损、秒级、全流程”的检测优势，贯穿烟草种植、加工到成品的全生命周期，精准监测水分、烟碱、糖分等核心指标，实现从原料分级、质量监测、工艺优化到成品质控的智能化管理，助力烟草企业提升品质一致性、降低损耗成本、强化市场竞争力。
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半导体行业解决方案针对化学湿法工艺的药液浓度管理需求，我们开发出高精度化学药液浓度计。该设备采用近红外光谱吸收、电化学等技术原理能够秒级完成对HF、H2SO4、TMAH等多种常用蚀刻液/清洗液的浓度测定，精度达±0.01%。设备可在高温强酸环境下连续运行（耐受PFA材料）。内置补偿算法，消除温度和气泡干扰带来的测量误差，能够实现与工厂中控系统的实时数据传输，产品已通过SEMIS2、CE等认证。
我们的应用
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化工过程智能分析近红外光谱仪通过实时采集物料光谱数据，结合化工专用算法模型，快速解析反应进程、混合物成分及关键指标（如水分、溶剂残留、混合均匀度等）。实验室设备为工艺开发提供高精度基准，在线设备嵌入产线实时反馈数据至控制系统，动态调节温度、流量、阀门等参数，形成“检测-分析-控制”闭环管理，实现生产全程标准化与资源最优化。
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粮油加工全链品质管理近红外光谱技术以“无损、快速、实时”的检测能力，贯穿粮油加工全产业链，从原粮收储到精炼加工，实现关键指标（水分、蛋白质、油脂等）的秒级分析，赋能企业精准分级、智能决策与工艺优化，助力降本增效与品质升级，为粮油行业高质量发展提供核心科技支撑。
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农业智检与精准管理基于分子光谱学原理的近红外光谱技术，为智慧农业构建了高效、绿色的数字化解决方案。该技术通过捕捉物质分子在近红外波段的振动吸收特征，将复杂的光谱信息与农业对象的内在成分建立高相关性映射关系，实现从土壤到作物再到农产品的全链条非接触式质量监测。相较于传统化学分析方法，其显著优势在于零试剂消耗、多组分协同检测的可持续工作模式，彻底摆脱对实验室场景的依赖，使农业现场即时性检测成为可能。
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饲料行业解决方案迅杰光远深入了解饲料产业链相关工艺，凭借在饲料行业分析检测技术的丰富经验，为饲料相关行业的原料生产、成品深加工等领域的客户提供专业定制化近红外光谱分析解决方案。这些解决方案不仅助力客户深入洞悉各类饲料原料、饲料成品等的独特性质，还实现了生产全链条的质量监控，从原料筛选到加工过程，再到成品质量验证，每一步都精益求精。通过迅杰光远的近红外光谱分析技术，客户能够优化生产工艺，提升产品竞争力，同时确保生产过程的高效与稳定。
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烟草智能分级与工艺优化近红外光谱技术以“无损、秒级、全流程”的检测优势，贯穿烟草种植、加工到成品的全生命周期，精准监测水分、烟碱、糖分等核心指标，实现从原料分级、质量监测、工艺优化到成品质控的智能化管理，助力烟草企业提升品质一致性、降低损耗成本、强化市场竞争力。
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半导体行业解决方案针对化学湿法工艺的药液浓度管理需求，我们开发出高精度化学药液浓度计。该设备采用近红外光谱吸收、电化学等技术原理能够秒级完成对HF、H2SO4、TMAH等多种常用蚀刻液/清洗液的浓度测定，精度达±0.01%。设备可在高温强酸环境下连续运行（耐受PFA材料）。内置补偿算法，消除温度和气泡干扰带来的测量误差，能够实现与工厂中控系统的实时数据传输，产品已通过SEMIS2、CE等认证。
我们的应用
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化工过程智能分析近红外光谱仪通过实时采集物料光谱数据，结合化工专用算法模型，快速解析反应进程、混合物成分及关键指标（如水分、溶剂残留、混合均匀度等）。实验室设备为工艺开发提供高精度基准，在线设备嵌入产线实时反馈数据至控制系统，动态调节温度、流量、阀门等参数，形成“检测-分析-控制”闭环管理，实现生产全程标准化与资源最优化。
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粮油加工全链品质管理近红外光谱技术以“无损、快速、实时”的检测能力，贯穿粮油加工全产业链，从原粮收储到精炼加工，实现关键指标（水分、蛋白质、油脂等）的秒级分析，赋能企业精准分级、智能决策与工艺优化，助力降本增效与品质升级，为粮油行业高质量发展提供核心科技支撑。
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农业智检与精准管理基于分子光谱学原理的近红外光谱技术，为智慧农业构建了高效、绿色的数字化解决方案。该技术通过捕捉物质分子在近红外波段的振动吸收特征，将复杂的光谱信息与农业对象的内在成分建立高相关性映射关系，实现从土壤到作物再到农产品的全链条非接触式质量监测。相较于传统化学分析方法，其显著优势在于零试剂消耗、多组分协同检测的可持续工作模式，彻底摆脱对实验室场景的依赖，使农业现场即时性检测成为可能。
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饲料行业解决方案迅杰光远深入了解饲料产业链相关工艺，凭借在饲料行业分析检测技术的丰富经验，为饲料相关行业的原料生产、成品深加工等领域的客户提供专业定制化近红外光谱分析解决方案。这些解决方案不仅助力客户深入洞悉各类饲料原料、饲料成品等的独特性质，还实现了生产全链条的质量监控，从原料筛选到加工过程，再到成品质量验证，每一步都精益求精。通过迅杰光远的近红外光谱分析技术，客户能够优化生产工艺，提升产品竞争力，同时确保生产过程的高效与稳定。
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烟草智能分级与工艺优化近红外光谱技术以“无损、秒级、全流程”的检测优势，贯穿烟草种植、加工到成品的全生命周期，精准监测水分、烟碱、糖分等核心指标，实现从原料分级、质量监测、工艺优化到成品质控的智能化管理，助力烟草企业提升品质一致性、降低损耗成本、强化市场竞争力。
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半导体行业解决方案针对化学湿法工艺的药液浓度管理需求，我们开发出高精度化学药液浓度计。该设备采用近红外光谱吸收、电化学等技术原理能够秒级完成对HF、H2SO4、TMAH等多种常用蚀刻液/清洗液的浓度测定，精度达±0.01%。设备可在高温强酸环境下连续运行（耐受PFA材料）。内置补偿算法，消除温度和气泡干扰带来的测量误差，能够实现与工厂中控系统的实时数据传输，产品已通过SEMIS2、CE等认证。
半导体湿法制程RCA清洗药液浓度控制
文章来源：IAS 
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Jun
2025
1970年由Kern和Puotinen发明的RCA清洗工艺，目前被半导体产业界广泛采用，并在晶圆清洗工艺中占据主导地位。其主要对晶圆表面进行无损伤清洗以去除制造过程中的颗粒、自然氧化层、金属污染、有机物、牺牲层、抛光残留物等杂质的工序。RCA清洗工艺主要由SPM(硫酸-过氧化氢混合液)、SC1(氨水-过氧化氢溶液)、SC2(盐酸-过氧化氢溶液)三个核心清洗环节构成。
化学药液浓度计是RCA清洗工艺的关键监控装置，通过实时跟踪各类溶液的成分变化，确保各清洗阶段化学配比处于最佳工作区间。该设备能够精确感知溶液活性组分的微小偏差，及时触发补液或稀释操作，防止因浓度波动引发的清洗不彻底或基材损伤。其持续监测功能有效维持了药液在重复使用中的稳定性，减少生产中断频率。同时，自动化的浓度管理降低了人工取样检测的潜在误差，提升了工艺一致性和可重复性。浓度计的数据输出为清洗流程优化提供了科学依据，对于保障高端半导体器件的良率和性能具有重要意义。
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