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IAS-M300化学药液浓度计


*稳定浓度,提升良率

助力半导体与新能源行业高效生产


IAS-5100 IAS-M300系列化学药液浓度计是我司针对关键清洗和刻蚀工艺而设计的药液浓度分析仪器,主要应用于半导体工业、FPD、太阳能等高科技行业的湿法制程环节。设备可以对湿法刻蚀、清洗和光阻去除药液的浓度进行实时监控,能够及时有效的对药液浓度进行闭环定量控制,方便工作人员实时了解药液浓度变化,从而达到有效降低药液的无效消耗并减少异常清洗情况的发生。


参数标准:

  • 名称 IAS-M300系列
  • 原理 光谱吸收法
  • 测量样品 9058/960H
  • 测量范围 9058,NH₃:0-2%,H₂0:25-45%,960H,Ammonia:0-2%,H₂0:15-36%,Fluoride:0-2% 更多测量范围请联系IAS获取
  • 检测精度9058,NH₃:±0.25%,H₂O:±0.3%,960H,Ammonia:±0.25%,H₂O:±0.3%,Fluoride:±0.25%
  • 药液压力 <0.20 MPa
  • 药液温度 20-45℃
  • 接触溶液材质 PFA
  • 设备使用温度主机:20-30℃

    测量单元:20-35℃

    避免环境温度的突然变化,小于±1℃/1hour

  • 设备使用湿度 <70%(无结露)
  • 操作界面显示内容 1)药液检测浓度

    2)报警信息显示:药液检测指标的上上限、上限、下下限、下限

    3)报警信息阈值设置:药液检测指标的上上限、上限、下下限、下限

    4)错误码

  • 通讯接口 RS232、RS485、网口、并口、模拟量 (4-20mA)
  • 模拟量输出 1)第一成分及测量值(%)

    2)第二成分及测量值(%)(负载电阻小于500Ω,电流误差为0.2%内)

  • 串行输入 1)测量数据输出请求

    2)错误码输出请求

    3)检测开始/停止,默认开始

    4)检测药液选择

    5)第一、二成分的上下限值设置(HH/H/L/LL)

  • 串行输出1)测量数据(流水号、所有成分测量值)

    2)错误码

    3)药液种类、仪器状态信息

    4)第一、二成分的上下限值(HH/H/L/LL)

  • 并行输入 通过绝缘光电耦合器获得12到30V DC的输入电压

    1)并口浓度超限提醒开启/关闭

    2)检测药液选择

  • 并行输出 通过绝缘光电耦合器的晶体管输出(NPN),通电时最大电流:5mA DC(无内部保护电阻), 断电时最大电压:30V DC

    1)第一、二成分上下限报警(HH/H/L/LL)

    2)仪器报错

    3)仪器测量状态

    4)检测药液种类

    5)警告

    6)背景校正状态

  • 电源供应 主机:202(W)*272(D)*176(H)mm,测量单元:141(W)*110(D)*162(H)mm
  • 重量 主机:约5.9Kg,测量单元:约0.8Kg(可根据现场工况进行定制)
  • 管路尺寸 液路:外部配管(3/4inch);气路:4mm O.D.快接插头
  • 安装倾斜角 主机:±1°,测量单元:连接测量单元后,保证液体下进上出)
  • 光纤 长度:10m,弯曲半径:R200mm
行业解决方案
*稳定浓度,提升良率, 助力半导体与新能源行业高效生产 IAS-M300系列化学药液浓度计是我司针对关键清洗和刻蚀工艺而设计的药液浓度分析仪器,主要应用于半导体工业、FPD、太阳能等高科技行业的湿法制程环节。设备可以对湿法刻蚀、清洗和光阻去除药液的浓度进行实时监控,能够及时有效的对药液浓度进行闭环定量控制,方便工作人员实时了解药液浓度变化,从而达到有效降低药液的无效消耗并减少异常清洗情况的发生。

应用领域:

9058、960H



开发参考标准:


  • ASTM E1655-05 Standard Practices for Infrared Multivariate Quantitative Analysis(多元定量分析规范)

  • ASTM E168-06 Standard Practices for General Techniques of Infrared Quantitative Analysis(红外定量分析通用技术规范)

  • ASTM E1790-04 Standard Practice for Near Infrared Qualitative Analysis(近红外定性分析规范)

  • 39-00 Near-Infrared Methods-Guidelines for Model Development and Maintenance(近红外方法-模型建立与维护通则)

  • 39-10 Near-Infrared Reflectance Method for Protein Determination in Small Grains(漫反射近红外测定小粒谷物蛋白方法)

  • 39-11 Near-Infrared Reflectance Method for Protein Determination in Wheat Flour(漫反射近红外测定面粉蛋白方法)

  • 39-20 Near-Infrared Reflectance Method for Protein and Oil Determination in Soybeans(漫反射近红外测定大豆蛋白和油脂方法)

  • 39-21 Near-Infrared Reflectance Method for Whole-Grain Analysis in Soybeans(漫反射近红外测定整粒大豆方法)

  • 39-25 Near-Infrared Reflectance Method for Protein Content in Whole-Grain Wheat(漫反射近红外测定整粒小麦蛋白含量方法)

  • 39-70A Near-Infrared Reflectance Method for Hardness Determination in Wheat(漫反射近红外测定小麦硬度方法)

  • ICC-159 Determination of Protein by Near Infrared Reflectance(NIR)Spectroscopy(漫反射近红外测定蛋白)

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