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半导体行业解决方案

针对化学湿法工艺的药液浓度管理需求,我们开发出高精度化学药液浓度计。该设备采用近红外光谱吸收、电化学等技术原理能够秒级完成对HF、H2SO4、TMAH等多种常用蚀刻液/清洗液的浓度测定,精度达±0.01%。设备可在高温强酸环境下连续运行(耐受PFA材料)。内置补偿算法,消除温度和气泡干扰带来的测量误差,能够实现与工厂中控系统的实时数据传输,产品已通过SEMIS2、CE等认证。

行业优势
  • 高精度化学药液浓度检测系统 跨领域赋能-国产化突围-智造全链增效
  • 自主学习机制:基于实时工况数据的在线校准技术,异常浓度波动的自诊断与容错处理。
  • 工艺耦合建模:集成半导体制程参数补偿算法,匹配精密化学药液控制需求。开发光伏清洗剂动态衰减模型,实现剂量精准调控。
  • 模块化适配能力:产品模块化设计,方便光源更换维护,光纤型可扩展探头系统兼容多种工况,与主流清洗机台设备实现I/O通讯标准化对接。
  • 半导体级可靠设计:多重防腐材料组合方案应对强酸/强碱介质,适配颗粒、离子析出需求。
  • 光学技术突破:融合透射模式探测,适配不同材质容器及溶液状态。采用抗污染光学窗口和冗余光路设计,确保极端工况下的长期稳定性。
半导体行业解决方案可用仪器
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